洁净区尘埃粒子检测记录
编号：XXX-QR-ZL-18/05
检测人: 复核人:
测试部门 检测级别 检测状态 检测日期 报告日期
评定标准
(粒 /m3
) 100 级 ≥0.5um 3500 10000 级 ≥0.5um 350000 100000 级 ≥0.5um 3500000
≥ 5um 0 ≥ 5um 2000 ≥5um 20000
房间名称 1 2 3 4 5 UCL （ 95% ）
≥0.5um(粒 /m3
)
≥ 5um( 粒/m 3
)
≥ 0.5um(粒 /m3
)
≥ 5um( 粒/m 3
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≥ 0.5um(粒 /m3
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≥ 5um( 粒/m 3
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≥ 5um( 粒/m 3
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≥ 0.5um(粒 /m3
)
≥ 5um( 粒/m 3
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结论
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